技术编号：6993313
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种制造具有辐射敏感(sensitive)表面的辐射检测器的方法，所述 方法包括以下步骤 提供平面(Planar)衬底的步骤，所述衬底示出η掺杂平面和在所述η掺杂平面上形 成的本征层； 在所述本征层上沉积包括硼的层的步骤，由此形成P+型扩散层和包括硼的顶层； 在所述硼上形成导电材料的栅格(grid)的步骤，所述栅格的至少一部分形成在所 述顶层上，所述栅格电连接到所述顶层，而让所述顶层的一部分暴露，所述栅格形成第一电 极；以及 形成与所述η掺杂平...
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