异质结双极晶体管的形成方法及其异质结双极晶体管的制作方法技术资料下载

技术编号:6993453

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本发明主要涉及异质结双极晶体管,尤其涉及一种在集成异质结双极晶体管与互 补金属半导体(BiCMOQ工艺中形成带有抬高非本征基区的异质结双极晶体管。背景技术异质结双极晶体管(HBT,Heterojunction Bipolor Transistar)是指发射区、基区 和收集区由禁带宽度不同的材料制成的晶体管。异质结双极晶体管与传统的双极晶体管不 同,前者的发射极材料不同于衬底材料,而后者的整个材料是一样的,因而称为异质结器件。异质结双极晶体管的结构特点是具有...
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