技术编号:6993498
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明一般地涉及微机电开关(MEMS),更具体地,涉及一种用于改善MEMS的可靠性并且使其具有较低的材料疲劳和机械故障敏感度的MEMS结构以及制造它的方法。背景技术 诸如移动电话手持机的各式各样的通信系统需要开关以便在系统内引导信号流。一个例子是需要在电话的发送与接收单元之间转换移动电话天线。适当的开关必须允许射频(RF)信号在接通状态以低损耗(低接入损耗)通过,而在断开状态在端子之间提供良好的隔离。由于微机电开关在低接入损耗和高度隔离方面的潜能,其已经成...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。