技术编号：6993738
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体领域，具体为一种用以在半导体生产中的方形基片旋转自动紧固装置，达到方形基片的快速安装和旋转过程中的自动紧固，保护方形基片在生产过程中的安全运行和快速的装卸。背景技术目前，半导体方形基片的旋转工艺处理过程中由于紧固装置的安全要求，生产过程中会发生安装不方便，耽误生产时间，安装方便的紧固装置会有可能发生旋转时候的安全问题，例如半导体掩模板生产和清洗工艺对安全性和产量有很高要求，复杂的紧固结构会是生产产量降低，而简单的紧固结构又会使方形基片旋转时...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。