具有改良串行选择线和位线接触布局的三维存储阵列的制作方法技术资料下载

技术编号:6994348

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本发明是关于高密度存储装置,特别是关于具有多层平面存储单元的存储装置以提供三维阵列。背景技术当集成电路中的装置的临界尺寸缩减至通常存储单元技术的极限时,设计者则转而寻求存储单元的多重叠层平面技术以达成更高的储存密度,以及每一个位较低的成本。 举例而言,薄膜晶体管技术已经应用在电荷捕捉存储器之中,可参阅如赖等人的论文"A multi-Layer Stackable Thin-FilmTransistor(TFT)NAND-Type Flash Memory ...
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