技术编号:6994653
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于高温的电子器件,尤其是一种化学敏感的半导体器件。 背景技术电子器件可以具有衬底、设置在衬底上的印制导线结构以及通过印制导线结构接 触的功能层,其中印制导线结构为了接触功能层可以部分地被功能层覆盖。例如,这种电子器件可以是化学敏感的、例如气体敏感的场效应晶体管。功能层在 此可以是场效应晶体管的栅极电极。印制导线结构在此通常由纯钼构成。然而,在将化学敏感的场效应晶体管用于检测内燃机、例如机动车的内燃机的废 气中的气体组分时,化学敏感的场效应晶...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。