技术编号:6994906
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种构成元件的由能够具有多个晶相的材料制成的异质材料中的界 面结构以及半导体器件。背景技术结晶材料的性质随晶体结构或化学组成而变化。因此,在利用能够具有多个晶体 结构或化学组成的材料的性质的工业产品中,晶相的稳定性对工业产品的特性或可靠性具 有重要的影响。此外,邻近于晶体的异质材料中的界面的结构通常显著地影响晶相的变化。 结果,需要一种控制界面结构并且改进结晶材料的相稳定性的技术。其中存在与异质材料中界面的结构稳定性的改进有关的问题的领域的示例为...
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