技术编号:6994911
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种晶圆压膜机干膜输送机构,特别是涉及一种具有整平功能,且让干膜得以呈现较为平坦的态样进行切割作业,借以提升干膜切割作业的良率的干膜输送机构。背景技术以往晶圆切膜装置是利用长方形膜料,并将膜料贴附于晶圆上,再以刀模除去多余部份,为了避免刀具与晶圆接触,则所裁切的膜料势必皆大于晶圆面积,但配合晶圆制作过程中,需要于晶圆外围预留一圈不贴附膜料;请参阅中国台湾专利申请案号第096202954号“晶圆的贴膜裁切机”,是于一呈水平状的座体上设置包括有一框架...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。