衬底、该衬底的制备方法及具有该衬底的芯片的制作方法技术资料下载

技术编号:6995599

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本发明属于固体照明,尤其涉及ー种图形化衬底、该衬底的制备方法及具有该衬底的发光二级管芯片。背景技术发光二极管(LED)是ー种能将电信号转换成光信号的结型发光半导体芯片,以氮化镓为主材料所制成的发光二 极管作为固态光源ー经出现便以其高效率、长寿命、环保等优点成为国际半导体和照明领域研发与产业关注的焦点,并且以氮化镓、氮化铟镓、氮化铝镓和氮化铟铝镓为主的III- V族氮化物材料具有连续可调的直接带宽为0. 7 6. 2eV,覆盖了从紫外光到红外光的光谱范围,是...
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