技术编号:6995638
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。,设备清洁方法,装置制造方法和由该方法制造的装置的制作方法本发明涉及一种光刻投影设备,包括射线系统,用于提供射线投影光束;用来支撑图形化装置的支持结构,该图形化装置用来根据所需的图形将投影光束图形化;用来支持基底的基底台;和投影系统,用来将已图形化的光束投射到基底的目标部分。背景技术 术语“图形化装置”在这里可以概括地解释为是指一种可用于使入射的射线束具有成一定图形的横截面,该成一定图形的横截面对应于要在基底的目标部分上形成的图形;在本说明的情况下也可以使...
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