技术编号:6995647
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供一种用于半导体加工机床检测的管理系统与方法,尤其涉及一种半导体加工机床检测的自动化管理系统与方法,以避免人员作业疏忽所造成的检测异常。背景技术 随着工业社会的急速发展,各式各样的机器设备不断地被开发出来,以适应工业上大量生产的需要。以半导体电子元件为例,在其制作过程中便需要应用到薄膜机床、黄光机床、刻蚀机床、离子布植机床、快速高温处理机床、化学机械研磨机床等多种不同的加工机床来逐步定义元件的图案。为了使元件特性合于产品规格,相关业者除了对于作业环...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。