技术编号:6996010
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供一种薄膜晶体管及制造该薄膜晶体管的方法。更具体而言,示例实施方式涉及具有改进的驱动特性的薄膜晶体管以及制造该薄膜晶体管的方法。背景技术通常,显示面板包括显示基板和面对显示基板的相对基板,显示基板包括驱动像素的开关元件。开关元件可以是薄膜晶体管。薄膜晶体管包括栅电极、源电极、漏电极以及形成电连接源电极和漏电极的沟道的半导体图案。该半导体图案通常由非晶硅(a-Si)、多晶硅(poly-Si)或氧化物半导体形成。非晶硅层可容易地形成在大尺寸基板上。然而...
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