技术编号:6996114
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种微流模块,应用于与微机电相关的制造产业,特别是一种具有流场方向一致性的微流模块。背景技术 现今社会科技的进步一日千里,带给人们更为便利的生活,尤以在微机电(MEMS,Micro-Electro Mechanical Systems)方面的研究发展。近年来国内半导体以及信息电子产业持续蓬勃发展,已成为我国产品出口的主力。由于电子产品不断地走向“轻薄短小”,连带影响其使用的各类元组件及加工设备的精度及尺寸也日趋要求严苛,因此也促成了另一波制造技术...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。