技术编号:6996167
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于储能器件,具体涉及一种采用柔性材料作为衬底的固态超级电容器及其制作方法。背景技术在用于能量存储的电子器件中,固态超级电容因为同时拥有高能量密度和高功率密度而得到了广泛的关注。固态超级电容的基本思想是首先形成具有较大表面积的多孔结构,然后利用这种多孔结构作为制备模板形成金属/绝缘体/金属(MIM)型电容。基于这种思想,十多年来研究者先后采用阳极氧化铝[1]和硅深槽结构制备出了固态超级电容。在这些固态超级电容器中,衬底材料主要是玻璃、重掺杂的硅片或金...
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