技术编号:6996853
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及在半导体生产设备制造领域内,一种调整双臂机械手FORK圆心重合的方法。经过调整,当T轴处于零位时,可使双臂机械手末端FORK的圆心在R轴各自的旋转平面内上下重合,从而为双臂机械手运动轨迹提供了原始定位基准。背景技术双臂机械手在吸附硅片时,硅片的圆心位置理论上即是未端臂FORK的圆心。无论双臂机械手的上下臂运动轨迹如何变化,但上下臂运动轨迹的原始基准是确定的。理论上讲,当T轴处于零位,双臂向前平伸,上下臂FORK的圆心是重合的。但由于制造误差的装配...
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