技术编号:6996895
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及到柔性薄膜光伏电池规模制造技术,特别涉及到PECVD制备过程中基材快速升降温技术。背景技术在本发明提出之前,柔性薄膜光伏电池的制造已经形成了规模化的生产。在这种规模化的生产过程中,PECVD(等离子体增强化学气相沉积)制备作业是十分重要的工艺过程。系统在电极之间加上电压时,由阴极发射出来的电子在电场被加速而获得能量,通过与反应室中的气体或分子碰撞,使其分离,激发或电离,形成了很多电子,离子和活性基团。粒子所带的正的和负总电荷相等,是一种等离子体。...
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