技术编号:6997114
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种单边栅极鳍状场效晶体管,具体涉及一种具有超薄基部的单边栅极鳍状场效晶体管。背景技术动态随机存储器為一种随机存储器器,其将每一位的数据存入集成电路的电容器中。一般而言,动态随机存储器以方形数组排列,每存储单元由一晶体管及一电容器所构成。晶体管作为一开关装置,包含了一栅极以及其下一硅质通道通道区域。硅质通道区域则位于一对源/漏极区域间的半导体基底中,而栅极藉由控制所述硅质通道区域使源/漏极区域电连接。目前,垂直式双栅极鳍状场效晶体管是已发展用于下...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。