技术编号:6997212
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种非挥发存储器结构及制备方法,尤其涉及ー种具有集成密度高、局域化存储电荷的多值非挥发存储器及其制备方法,属于微电子制造及存储器。背景技术目前的微电子产品主要分为逻辑器件与存储器件两大类,而现今几乎所有的电子产品中都需要用到存储器件,因而存储器件在微电子领域占有非常重要的地位。存储器件一般可分为挥发性存储器与非挥发性存储器。非挥发性存储器的主要特点是在不加电的情况下也能够长期保持存储的信息。它既有只读存储器(ROM)的特点,又有很高的存取速度,而...
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