阻变存储器及其制造方法技术资料下载

技术编号:6997332

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本发明涉及半导体器件及制造技术,更具体地说,涉及一种。背景技术随着可携式个人设备的流行,非挥发性存储器由于具有在无电源供应时仍能维持记忆状态和操作低功耗等优点,逐渐成为半导体工业中的研发重点。目前市场上的非挥发性存储器仍以闪存(flash)为主流,但是由于闪存存在操作电压过大、操作速度慢、耐久力不够好以及由于器件尺寸缩小过程中隧穿氧化层不断减薄导致保持时间不够长等缺点,现 在的研发重点逐渐转向了可以取代闪存的新型非挥发性存储器,包括铁电存储器(FeRAM)...
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