技术编号:6997439
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于微纳加工工艺,涉及微结构的各向同性湿法腐蚀,特别是涉及一种湿法腐蚀方法及装置。背景技术微电子机械系统(MEMQ技术作为九十年代发展起来的一项跨学科新兴先进技术,对提高人们的生活水平以及增强国力起到了重要的作用。MEMS的跨学科特点,使其在发展过程中涉及的研究领域和加工技术种类繁多。近年来,随着MEMS器件不断向新颖性和多样化发展,器件的集成度和复杂性不断提高,器件的设计和加工已不再拘泥于二维尺度,湿法腐蚀可以比较低的成本制备比较复杂的的三维结构。...
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