技术编号:6997512
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及压电元件、压电执行元件、液滴喷射头、液滴喷射装置以及压电元件的制造方法。背景技术已知有一种为了能够使压电元件的厚度变薄来进行高速驱动,可以使用薄膜技术制造的压电执行元件、喷墨式记录头。例如,专利文献1中记载了能够使用薄膜技术制造的喷墨式记录头。在专利文献1所记载的喷墨式记录头中,为了解决在压电元件的隔着压电体层的侧面的上部电极与下部电极之间产生漏电流、因压电体层从大气中吸湿而引起的劣化等问题,在压电体层的侧面设置了由绝缘体层形成的保护膜。在这样的...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。