技术编号:6997790
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种太阳能电池硅片的清洗装置,尤其涉及硅片镀膜用石墨框的清洗装置。背景技术在硅片表面制作减反射膜能减少光学损失和复合损失,提高太阳能电池的输出功率,目前,大规模生产的太阳能电池均采用平板式等离子体化学沉积法,即PECVD制作减反射膜。其化学沉积法的主要过程为首先将一根铜管置于密闭的石英管中,石英管放入沉积源中,将沉积源抽真空,然后通入硅烷和氨气,铜管发射出微波,在特定温度条件下,硅烷和氨气反应生成氮化硅,氮化硅即为减反射膜的材料,由于电池片放置在...
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