技术编号：6998281
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种金属波导微腔光耦合结构的制作工艺，具体涉及一种用于光电功能器件的金属波导微腔光耦合结构的工艺，它适用于可见光，红外，乃至太赫兹波段的光耦合结构制作。背景技术表面等离子体是沿金属导体表面传播的电磁波，它是入射电磁场和金属表面的自由电子相互耦合形成的“局域”电磁共振模式，有时也称其为表面等离子体激元(Surface Plasmon polaritons, SPPs) 0金属表面自由电子在入射电磁场的激励下集体相干振荡，这种相互作用产生了 SPI^...
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