沟槽型碳化硅肖特基功率器件的制作方法技术资料下载

技术编号:6998317

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本发明涉及电子元器件领域,尤其是半导体功率器件。 背景技术当金属电极与半导体接触会产生整流效应,这一现象被科学家肖特基(Schottky) 所发现,即发现了当金属与半导体接触,电流正、反向流过接触面时,接触面电阻值相差好几个数量级,如今这一现象被广泛应用于半导体器件上,包括许多功率器件上。目前应用的结构形式是平面型结构,N型碳化硅半导体层和上、下金属电极都是平面接触,当器件电压正向偏置时,即上金属电极为正极,下金属电极为负极,肖特基接触面电阻非常小,电流开...
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