技术编号:6998858
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明有关于晶片封装体,且特别是有关于晶圆级封装的。背景技术晶片封装体用以保护封装于其中的晶片,并提供晶片与外部电子元件之间的导电通路。在现行晶圆级封装制程中,位于晶圆外围的晶片封装体可能有接合度不佳及/或易受水气入侵的问题,其影响所封装的晶片的效能非常巨大。因此,业界亟需提升晶片封装体的可靠度。发明内容本发明提供一种晶片封装体的制作方法,包括提供一半导体晶圆,半导体晶圆具有多个元件区,且元件区之间间隔有多个切割道;将一封装基板接合至半导体晶圆,其中封装基...
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