技术编号:6998882
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种太阳能电池蚀刻设备,且特别是涉及一种减少太阳能电池表面的蚀刻痕的设备。背景技术太阳能电池是一种利用光电效应将太阳光能直接转换成电能的干净能源。目前以硅晶太阳能电池的发展与应用范围最广。 图IA至图IF是现有的硅晶太阳能电池的制造流程剖面示意图。一般会先对硅晶基板100进行表面结构化工艺,使其正面102、背面104与侧边106均产生表面结构(如图1A),然后对硅晶基板100进行扩散工艺,而成使硅晶基板100表面含正面102、背面104与侧边10...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。