技术编号：6999463
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微电子机械系统领域，尤其涉及一种微电子机械加工方法。背景技术微电子机械系统(MEMS)作为起源于上世纪90年代的跨学科和先进制造技术对改善人们的生活质量、提高人们的生活水平以及增强国力起到了重要的作用。由于强烈的多学科交叉特征，MEMS的研究方式和加工技术就与生俱来的带有多样性。尽管近年来硅工艺已成为MEMS工艺的主流，但一种器件一个工艺的研究方式基本没有改变。由于MEMS器件的实现需要多方面技术的整合，这种复杂性使研究人员难以全面掌握从器件结构...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。