技术编号:6999487
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于通过蒸发形成薄膜的沉积装置。具体地,本发明涉及用于制造利用电致发光的显示装置的沉积装置。背景技术通过蒸发包含发光介质的薄膜而制造主要使用有机材料的电致发光元件(下文中称之为“EL元件”)。通过蒸发形成薄膜传统上是众所周知的。对于用于制造有机EL元件的沉积装置,存在这样一种结构,其中组成有机EL元件的各层被连续地沉积,同时在分离的真空腔内保持真空气氛(例如,见专利文件1 日本专利申请公开第H10-M1858号(第 6、7 页,图 4))。公开了...
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