技术编号:6999966
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 本发明属于集成电路,具体是一种用于改善基于可控硅的集成电路ESD 防护器件的可靠性和静态功耗的反向二极管触发可控硅。背景技术自然界的静电放电(ESD)现象对集成电路的可靠性构成严重的威胁。在工业界, 集成电路产品的失效30%都是由于遭受静电放电现象所引起的,而且越来越小的工艺尺寸,更薄的栅氧厚度都使得集成电路受到静电放电破坏的几率大大增加。因此,改善集成电路静电放电防护的可靠性对提高产品的成品率具有不可忽视的作用。静电放电现象的模式通常分为四种HBM(...
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