技术编号:7000575
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于一种抛光液,涉及微电子辅助材料及加工工艺,特别是涉及一种用于氧化锌化学机械平坦化的碱性纳米抛光液及应用。背景技术近几年来,由于氧化锌材料有着较大的能带宽度(3. 37eV)和较高的激子束缚能量,所以氧化锌在深紫外光电子器件、蓝光发光器件、激光器件、压电传感器、声表面波器件,非挥发性阻变存储器件,掺杂氧化锌用作透明电极等领域有了广泛的应用,而且其作用也显得越来越重要了。同时氧化锌也被用来做为衬底直接在上面外延生长GaN薄膜,或者作为蓝宝石和SiC上...
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