技术编号:7000672
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种制造集成电路的方法,或者更具体地涉及包括具有矩阵结构的矩阵器件(包括电--光显示器和半导体存储器)和作为开关元件的MOS或MIS(金属一绝缘体一半导体)型场效应元件(下文一般称之为MOS型元件)的半导体电路,其特征在于它的动态工作,诸如液晶显示和动态RAM(DRAM)及其驱动电路或类似图像传感器的集成驱动电路。本发明特别涉及一种采用薄膜半导体元件,诸如形成于绝缘表面的薄膜半导体晶体管或类似物,如MOS型元件的器件,还涉及具有薄膜晶体管的、其有...
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