技术编号：7002881
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一边将被处理基板水平搬送，一边对上述被处理基板实施热处理的热处理装置和热处理方法。背景技术例如，在FPD(平板显示器)的制造中，利用所谓光刻工序来形成电路图案。具体而言，在对玻璃基板等被处理基板形成规定的膜后，涂敷作为处理液的光致抗蚀剂(以下称“抗蚀剂”)来形成抗蚀膜，对应于电路图案将抗蚀膜曝光，并对其进行显影处理。不过，近年来，在该光刻工序中，出于提高吞吐量的目的，大多采用一边将被处理基板以大致水平姿势的状态搬送，一边对其被处理面实施抗蚀剂的涂...
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