模板、其制造方法以及制造半导体发光器件的方法技术资料下载

技术编号:7003292

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本发明涉及一种利用模板制造氮化物基半导体发光器件的技术。 背景技术由于氮化物基半导体发光器件具有寿命长、功耗低、初始驱动特性极好、抗振性强等多种优点,对其需求与日俱增。一般而言,氮化物基半导体发光器件包括多个氮化物层,这些氮化物层包括η型氮化物层、活性层和P型氮化物层。其中,η型和P型氮化物层为活性层提供电子和空穴, 从而通过电子与空穴在该活性层中的再结合发出光。然而,诸如蓝宝石(Al2O3)等材料制成的基底的晶格常数通常与氮化物层的不同, 因此当在基底上...
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