具有嵌埋于基底中的屏蔽图案的高品质因子电感器件的制作方法技术资料下载

技术编号:7004051

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本发明涉及一种电感器件。本发明特别涉及一种用于射频集成电路的电感器件,具有嵌埋于半导体基底中的屏蔽图案,可降低储存于电感器件中的能量损耗,从而增强电感器件的品质因子。背景技术 在射频集成电路的应用中,不仅需要使用二极管与晶体管等主动器件以及电阻与电容等被动器件,而且需要设置有各种电感器件例如线圈或变压器。图1(a)显示一已知的电感器件10的透视图。参照图1(a),已知的电感器件10包括有一半导体基底11、一绝缘层12、以及一导电膜13。绝缘层12沉积于半导...
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