形成底部电极和相变电阻的方法技术资料下载

技术编号:7004519

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本发明涉及半导体,尤其涉及。背景技术随着信息技术的发 展,存储器件的需要越来越大,因此促进了存储器件朝着高性能、低压、低功耗、高速及高密度方向发展。相变存储器(PCRAM,phase change RandomAccess Memory)是在CMOS集成电路基础上发展起来的新一代非易失性存储器,其使用元素周期表中V族或VI族的ー种或ー种以上元素的合金作为相变电阻,用相变电阻作为存储单元,相变电阻在以电脉冲的形式集中加热的情况下,能够从有序的晶态(电阻低)快...
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