技术编号:7004812
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种干蚀刻装置,尤其是,一种能够在基板表面上形成均勻图案的干蚀刻装置。背景技术具有半导体特性的太阳能电池可将光能转化为电能。下面对根据现有技术的太阳能电池的构造和原理进行简要介绍。太阳能电池以P 型半导体与N型半导体结合在一起的PN结的构造形成。当太阳光线照射在具有PN结构造的太阳能电池上的时候,由于太阳光线的能量而在该半导体上生成空穴⑴和电子㈠。由于在PN结的区域产生了电场,空穴(+)向P型半导体漂移,电子(_)向N型半导体漂移,因此随着电势的...
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