技术编号：7007128
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明的多个方面涉及超声换能器，尤其涉及用于形成与限定空气支持的腔的压电微机械加工式超声换能器的连接的方法以及相关联的装置。背景技术例如,一些微机械加工式超声换能器(MUT)可以被配置成压电微机械加工式超声换能器(PMUT)，正如美国专利7，449，821中所揭示的那样，该美国专利已被转让给“三角形研究学会(Research Triangle Institute)”,也正是本申请的受让人,该美国专利的全部内容通过弓I用被包括在本文中。形成pMUT器件(比如...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。