技术编号:7007247
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种,包括如下步骤将需要进行栅氧生长的圆片放入反应室内,通入氧气使得所述圆片置于氧气氛围下,接着对所述圆片进行升温直至温度升高至工艺温度;保持温度为工艺温度并维持氧气的通入,开始通入DCE使得所述圆片置于氧气和DCE的混合氛围下;保持温度为工艺温度并维持氧气和DCE的通入,开始通入氢气直至栅氧生长完成;关闭DCE、氢气和氧气的通入,开始通入氮气直至圆片降温至非工艺温度。这种通过添加含有Cl的气体DCE,在栅氧生长的步骤中,DCE由于热氧化而生成...
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