技术编号：7008948
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明一种，通过在晶圆上布置与切割线垂直且呈中心对称的测试金属线，该测试金属线具有互不连接的第一测试单元和第二测试单元，其中，上述第一测试单元和第二测试单元分别具有沿水平方向以定值t递增或递减并向对方延伸的多条凸起金属线，扫描位于第一测试单元和第二测试单元之间并与凸起金属线一一对应的通孔，将通孔的扫描数据与标准扫描数据进行对比，以精确量测出通孔与下层金属线的对准偏差，保证了集成电路制造工艺的精度和可重复性，进而提升了产品的良率。专利说明[0001]本发明涉...
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