技术编号:7009092
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供一种薄膜晶体管及其制备方法、阵列基板、显示装置,属于显示装置制造,其可解决现有的薄膜晶体管的半导体有源区掺杂离子转变为掺杂半导体有源区时,离子杂质破坏半导体材料的晶格,导致薄膜晶体管性能下降的问题。本发明的薄膜晶体管,其包括栅极、栅极绝缘层、半导体有源区以及与半导体有源区连接的源极、漏极,还包括与所述半导体有源区接触的表面电荷转移层,所述表面电荷转移层用于使所述半导体有源区在不改变晶格结构的情况下产生大量的空穴或电子。本发明的半导体有源区的材料将...
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