一种0.5THz波纹喇叭天线及利用MEMS工艺进行制备的方法技术资料下载

技术编号:7009223

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本发明涉及,适用于太赫兹波段成像系统或短距离太赫兹通信系统。本发明的天线提出了多个具有有益效果的结构扩张的喇叭,与波导相比可以提高辐射效率和方向图旋转对称性;“V”形波纹槽,截断表面电流,有效的提高增益的同时可以降低天线周围金属结构对天线性能的影响;定位凹槽,可保证天线在安装对接时的精确对位;喇叭喉部的台阶,可以显著提高喇叭结构的设计自由度,降低上下两层硅片的对位误差对天线性能的影响,提高加工成品率。通过上述思路设计和实现的太赫兹天线适用性广,易于形成阵列...
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