技术编号:7009805
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种硅基金属微腔电致发光器件,自上至下为半透明金属反射镜,有源层,ITO电极,2-8个周期底部DBR、每周期厚度为共振光波长的二分之一,金属薄膜,石英基底;以SiC材料作为有源层,厚度为共振波长的1/2,半透明金属反射镜作为微腔的一面反射镜和出光面。制备方法的步骤利用等离子体增强化学气相沉积技术,在用硅烷和甲烷作为反应起源,在石英衬底上交替生长具有两种不同组分的SiC薄膜,构成全SiC材料的DBR结构;这两种组分的SiC薄膜淀积时的流量比R=CH4/SiH...
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