技术编号：7009825
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种机械臂的定位方法及定位系统，属于集成电路领域。该方法包括发射器向目标晶圆的方向发射至少两条定位光线，以形成至少两个定位点；根据所述至少两个红外定位点与在装载所述晶圆的装载盒上设置的水平参考物，定位所述机械臂的水平位置和垂直位置。机械臂的定位系统包括发射器和水平参考物。本发明中，以水平参考物为基准，通过不断调整定位点与水平参考物的距离，客观高效地实现了机械臂水平位置和垂直位置的精确定位。专利说明机械臂的定位方法及系统[0001]本发明属于集成...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。