技术编号:7009992
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种晶片清洗加热石英缸,包括有石英缸体,其特征在于在所述石英缸体的外部设置有石英缸壁的保护层,在所述石英缸体的底部设置有排液口、阀门,在所述石英缸体上还设置有加热装置。本发明的有益效果是1、保护层材质为耐酸耐高温且不易变形的PVC塑料材质可以有效的保护石英缸体结构;2、带保护层加热丝镶嵌在石英缸壁四周及底部增加有效加热面积,提高加热速率;排液口在石英缸底部可以将废液全部排出,提高其操作安全性能;内置热电偶实时监控溶液温度,断路器接收温度显示器控...
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