技术编号:7010725
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供了一种低温多晶硅薄膜晶体管阵列基板及其制作方法、显示装置,属于薄膜晶体管制造工艺领域。所述低温多晶硅薄膜晶体管阵列基板,包括有接触孔,所述阵列基板的源电极、漏电极通过所述接触孔分别与有源层连接,其中,所述接触孔的底部设置有与所述有源层连接的导电图形。通过本发明的技术方案,能够在接触孔刻蚀完成后使得阵列基板的源电极、漏电极与有源层形成良好的欧姆接触,保证显示装置的显示质量。专利说明低温多晶硅薄膜晶体管阵列基板及其制作方法、显示装置[0001]本发明...
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