技术编号:7010768
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种氮磷氧锌薄膜及其制备方法和薄膜晶体管,所述氮磷氧锌薄膜的组成为ZnxPyO1-x-y-zNz,其中,55%≤x≤65%,1%≤y≤10%,10%≤z≤22%,各原子的原子个数百分比之和为100%。通过离子溅射沉积该氮磷氧锌薄膜,同时对于给定薄膜材料制作的薄膜晶体管获得高载流子迁移率和高稳定性。专利说明一种氮磷氧锌薄膜及其制备方法和薄膜晶体管[0001] 本发明涉及一种半导体薄膜的制备,特别是涉及一种氮磷氧锌薄膜及其制备方法和薄膜晶体管。背景...
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