技术编号：7011420
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了用于处理晶片形物品的方法和装置。通过使用被设计为产生单分散微滴喷雾的微滴生成器来提高晶片形物品的湿法处理。微滴生成器安装到旋压卡盘上方，并且沿线性或弧形路径移动横过晶片形物品的主表面。微滴生成器包括换能器，所述换能器与其主体声学地耦合以使声能到达主体的围绕排放孔口的区域。每个孔口都具有至少1μm且至多200μm的宽度w和高度h，以使h与w的比率不大于1。专利说明用于处理晶片形物品的方法和装置[0001]本发明涉及用于处理诸如半导体晶片等晶片形物...
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