技术编号:7011542
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种,特别涉及一种在加工对象物形成贯通孔的。背景技术作为现有的,已知的有如下的使激光聚光于板状加工对象物而在加工对象物的内部形成改质区域后,对该加工对象物实施蚀刻处理来除去改质区域,由此将沿着厚度方向的贯通孔形成于加工对象物(例如参照专利文献I)。现有技术文献 专利文献专利文献1日本特开2004-351494号公报发明内容发明所要解决的技术问题这里,在上述的中,会有在进行蚀刻处理之前,将对蚀刻具有耐性的耐蚀刻膜图案化在加工对象物的外表面的情况。即...
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