技术编号:7012693
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及薄膜晶体管和具备该薄膜晶体管的液晶显示装置以及薄膜晶体管基板的制造方法,特别涉及具有使用了包含氧化物半导体的半导体层的这种薄膜晶体管的薄膜晶体管基板和液晶显示装置以及薄膜晶体管基板的制造方法。背景技术构成液晶显示装置的薄膜晶体管基板中,作为图像最小単位的各像素的开关元件,使用薄膜晶体管(Thin Film Transistor,以下称TFT)。以往使用半导体层包含非晶娃的TFT,但近年来,人们提出了具有包含氧化物半导体的半导体层的TFT,来代替具...
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