技术编号:7012746
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。提供了一种用于制造电容器的方法及包括该电容器的显示设备。该显示设备位于基板上,并包括薄膜晶体管、连接到薄膜晶体管的显示器件以及电容器,薄膜晶体管包括有源层、栅电极以及源电极和漏电极。该方法包括在基板上形成电极层;在电极层上形成钝化层;图案化钝化层,以形成包括彼此平行的多个第一分支图案的第一图案,以及形成包括彼此平行并被插入在多个第一分支图案之间的多个第二分支图案的第二图案;以及通过使用第一图案和第二图案作为掩膜蚀刻电极层来形成第一电极和第二电极。专利说明用...
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